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基于热传递分析的压阻式压力传感器动态温度补偿方法

期刊:ieee transactions on instrumentation and measurementDOI:10.1109/tim.2025.3545524

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作者及机构
本研究由Chao Yuan(IEEE会员)、Zhaoyang Wang(IEEE学生会员)、Chengxu Tang(IEEE学生会员)、Yun Huang(IEEE学生会员)和Qiao Li(IEEE会员)共同完成,所有作者均来自中国湖南大学电气与信息工程学院。研究成果发表于2025年的《IEEE Transactions on Instrumentation and Measurement》(卷74)。


学术背景
研究领域为传感器技术,聚焦于压阻式压力传感器(piezoresistive pressure sensor)的动态温度补偿问题。压阻式压力传感器因其高灵敏度、优异线性度和快速响应时间,广泛应用于工业和航空航天领域。然而,硅材料的固有特性导致传感器在温度变化时产生显著漂移(temperature drift),传统补偿方法仅依赖环境温度,难以解决动态温度变化下的滞后问题。因此,本研究提出了一种基于传热分析(heat transfer analysis)的动态温度补偿方法,旨在通过精确预测压阻芯片温度,提升补偿精度。


研究流程
1. 传感器特性分析
- 研究对象:一款量程为0–0.5 MPa、温度范围为−40°C至125°C的压阻式压力传感器,其核心为扩散硅压阻芯片(diffused silicon piezoresistive chip),封装于不锈钢外壳内。
- 实验设计:通过校准实验获取传感器在不同温度下的输出特性曲线(图5),发现灵敏度随温度升高而下降,但零漂变化较小。此外,通过自热实验(图6)验证芯片自热导致的漂移可忽略。

  1. 传热建模

    • 热对流分析:建立传感器外壳与环境的热对流模型(公式10-17),推导外壳温度(t1)和核心下壳体温度(t2)的动态响应方程。
    • 热传导分析:通过COMSOL软件构建传感器三维几何模型,模拟瞬态热阻抗(transient thermal impedance),并采用Foster网络模型拟合热阻(Rth)和热容(Cth)参数(表II)。最终构建双路径热阻抗网络(图11),分别描述外壳至芯片和核心下壳体至芯片的热传导路径。
  2. 温度补偿算法

    • 芯片温度预测:将热阻抗网络转换为等效电路(图12),结合环境温度输入,实时计算芯片温度tc(公式21)。
    • 补偿实现:基于实验标定的灵敏度-温度关系(k = −0.0248·Δt + k0),设计补偿公式(公式23),修正输出电压的温漂误差。
  3. 实验验证

    • 阶跃温度变化实验:环境温度从−7°C骤升至125°C,补偿后最大误差从0.1142 MPa降至0.0079 MPa(图17)。
    • 连续温度变化实验:环境温度从34.4°C缓升至80.3°C,补偿后误差从0.0253 MPa降至0.0012 MPa(图21)。

主要结果
1. 热模型有效性:瞬态热阻抗网络成功预测芯片温度,其与实际温度的滞后误差显著低于传统环境温度补偿方法(图16)。
2. 补偿性能:在阶跃和连续温度变化下,补偿后传感器的最大误差分别降低93.08%和95.26%(图17、21),且稳定性显著提升。
3. 理论贡献:首次将传热分析引入压阻传感器补偿领域,解决了动态温度差异导致的补偿滞后问题。


结论与价值
本研究提出了一种基于传热分析的动态温度补偿方法,通过精确建模传感器内部热传导路径,实现了芯片温度的实时预测和高精度补偿。其科学价值在于为传感器温度漂移问题提供了新的理论框架(热阻抗网络),应用价值则体现在工业复杂环境下的传感器稳定性提升,尤其适用于航空航天、能源监测等严苛场景。


研究亮点
1. 创新方法:首次将瞬态热阻抗网络模型应用于压阻传感器温度补偿,突破了传统环境温度依赖的局限。
2. 实验设计:通过多场景(阶跃/连续温度变化)验证补偿算法的鲁棒性,数据支撑充分(图13-23)。
3. 跨学科融合:结合传热学理论与电路仿真技术,展现了多学科交叉研究的潜力。


其他价值
研究还揭示了自热效应(self-heating)对压阻传感器的影响可忽略(图6),为后续低功耗设计提供了依据。此外,提出的Foster网络参数拟合方法(公式19)可推广至其他封装器件的热分析中。

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