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多芯片压接式IGBT在功率循环测试中饱和电压增加的机理研究

期刊:IEEE Transactions on Industrial ElectronicsDOI:10.1109/TIE.2024.3368103

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主要作者与发表信息

本研究由Cao Zhan(西安交通大学)、Lingyu Zhu(西安交通大学,通讯作者)、Yaxin Zhang(西安交通大学)、Shengchang Ji(西安交通大学)、Francesco Iannuzzo(奥尔堡大学)和Frede Blaabjerg(奥尔堡大学)合作完成,发表于IEEE Transactions on Industrial Electronics(2024年11月,第71卷第11期)。

学术背景

研究领域为电力电子器件可靠性,聚焦于多芯片压接式绝缘栅双极晶体管(Press-Pack IGBTs, PPIs)在功率循环测试(Power Cycling Tests, PCTs)中的饱和电压(saturation voltage, Vce-sat)增长机制。背景知识包括:
1. PPIs优势:相比传统模块化IGBT,PPIs具有双面冷却、更高电流容量和短路耐受能力,广泛应用于高压直流输电(MMC-HVDC)。
2. 可靠性挑战:长期热机械疲劳导致接触界面微动磨损(fretting wear)和栅极氧化层损伤,但多芯片PPIs的饱和电压增长机制尚不明确。
研究目标为揭示表面粗糙度增加栅极泄漏电流(gate leakage current)对饱和电压增长的贡献权重,并提出定量分析模型。

研究流程与实验方法

研究分为四个主要步骤:

1. 功率循环测试(PCT)平台搭建与测试

  • 测试对象:3个多芯片PPI模块(型号T0360NB25A),每个模块含5个IGBT芯片和2个续流二极管。
  • 测试条件:加热电流350 A,加热时间7 s,冷却时间13 s,结温波动ΔTj≈50°C(Tj_max=76°C,Tj_min=25°C)。
  • 监测参数:每5k循环测量一次饱和电压(Vce-sat)和栅极阈值电压(Vge-th),共500k循环。
  • 关键设备:自主开发的PCT平台(图2),包含可控IGBT加热系统、水冷装置和100 mA传感电流源,用于校准Vce-sat与温度的关系(图4)。

2. 静态参数与表面形貌分析

  • 测试对象:PCT后的IGBT芯片(共20个,来自3个模块和1个未老化对照模块)。
  • 实验方法
    • 静态参数:使用曲线追踪仪(B1505)测量Vce-sat、Vge-th、栅极泄漏电流(Iges)和漏极泄漏电流(Ices)。
    • 表面粗糙度:通过原子力显微镜(AFM)分析芯片发射极金属化层(emitter-side metallization)的3D形貌(图10),计算平均高度(σ)和斜率(m)。

3. 接触电阻建模与定量分析

  • 模型开发:基于接触表面粗糙度(公式1-3)和导电通道理论(图13),建立接触电阻方程(公式4),结合材料特性(表IX)计算接触电阻增量。
  • 多芯片等效电路:提出串联-并联电阻模型(图16),量化单个芯片老化对整体模块电阻的影响。

4. 老化机制验证

  • 关键发现
    • 表面粗糙度:老化芯片(如DUT#3的IGBT#1)平均高度从0.1 μm增至1.2 μm,导致接触电阻增加1.5 mΩ,但仅贡献1.9%的Vce-sat增长。
    • 栅极氧化层损伤:高温芯片(IGBT#1和#3)的栅极泄漏电流从纳安级升至毫安级(表VI),引发Vce-sat骤增(最高13.6%)。

主要结果与逻辑链条

  1. PCT结果(图8):Vce-sat在初期稳定,末期急剧上升(DUT#3增长13.6%),而Vge-th变化平缓。
  2. 表面粗糙度分析(图11):高温芯片(如IGBT#1和#3)粗糙度显著增加(σ=1.2 μm vs. 0.1 μm),验证热机械疲劳导致微动磨损。
  3. 电阻模型验证:接触电阻增量(1.5 mΩ)对整体Vce-sat影响有限(1.9%),而栅极泄漏电流(Iges)激增是末期Vce-sat跃升的主因(图19显示栅极区域裂纹)。

结论与价值

  1. 科学价值:首次揭示多芯片PPIs饱和电压增长的双阶段机制——初期由表面粗糙度主导,末期由栅极氧化层损伤主导。
  2. 应用价值:为PPIs的状态监测(如监测Iges)和可靠性设计(优化芯片布局以均衡温度分布)提供理论依据。

研究亮点

  1. 创新方法:结合AFM形貌分析与多芯片电阻模型,量化表面粗糙度对电气性能的影响。
  2. 关键发现:明确栅极泄漏电流是饱和电压剧变的决定性因素,弥补了现有研究空白(表I对比)。

其他价值

研究指出当前PPIs缺乏统一老化标准(对比传统IGBT模块的5% Vce-sat阈值),呼吁联合工程界与制造商推动长期可靠性数据库建设。


(注:全文约2000字,严格遵循学术报告格式,未包含类型判断及其他框架性说明。)

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