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纳米晶体材料原子分辨率STEM成像的实空间倾斜方法

期刊:Small MethodsDOI:10.1002/smtd.202401023

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作者、机构及发表信息

本研究由Jiake Wei(通讯作者,中国科学院大连化学物理研究所催化基础国家重点实验室)、Zhangze Xu(大连理工大学化学学院)、Wenjie Shen、Bin Feng(日本东京大学工程创新研究所及日本科学技术振兴机构PRESTO)、Ryo Ishikawa、Naoya Shibata、Yuichi Ikuhara(东京大学)及Xuedong Bai(通讯作者,中国科学院物理研究所表面物理国家重点实验室)合作完成。研究成果发表于《Small Methods》期刊,2025年9月在线发表,DOI: 10.1002/smtd.202401023。


学术背景

研究领域:本研究属于材料科学领域的原子分辨率表征技术,聚焦于扫描透射电子显微镜(Scanning Transmission Electron Microscopy, STEM)的样品倾斜方法开发。

研究动机:传统STEM原子分辨率成像需将样品精确倾斜至高对称晶带轴(zone axis),通常依赖倒易空间的衍射图案(如选区电子衍射SAED或会聚束电子衍射CBED)引导。然而,对于尺寸小于40-50纳米的纳米晶材料,其衍射信号过弱,难以指导倾斜过程。此外,高束流下获取菊池图(Kikuchi pattern)可能损伤电子束敏感材料(如沸石、金属有机框架MOFs)。因此,亟需一种适用于纳米晶材料的低剂量、高精度实时倾斜方法。

研究目标:开发一种基于实空间Ronchigram(龙基图)阴影图像衍射对比度变化的倾斜方法,实现无需衍射图案引导、低剂量条件下纳米晶材料的自动晶带轴对准。


研究流程与方法

1. 方法原理设计

研究团队提出通过Ronchigram中离焦阴影图像的强度变化判断样品取向。当电子束与晶带轴平行时,透射束强度最低,阴影图像最暗。通过计算最暗阴影图像与光学中心的偏移距离(公式:𝜃 = arctan(d/c),d为偏移距离,c为相机长度),可推导样品偏离角度并自动倾斜校正。

2. 实验验证

  • 研究对象
    • γ-Al₂O₃纳米棒(约20-30 nm)
    • ZSM-5沸石纳米片(约50 nm)
  • 设备与参数
    • 日本电子JEOL Grand ARM 300F显微镜(300 kV)
    • 会聚半角120 mrad,相机长度校准为角单位(mrad)
    • 低剂量条件(≈0.17 e⁻ Å⁻² s⁻¹)
  • 关键步骤
    1. 阴影图像采集:将样品置于离焦位置(如3.5 μm或20 μm),通过Gatan OneView相机记录Ronchigram阴影图像。
    2. 最暗位置定位:移动样品台,寻找阴影图像强度最低点(图1d-f)。
    3. 角度计算与倾斜:分解偏移向量至双倾样品台的α(平行于y轴)和β(平行于x轴)旋转轴,输入倾斜角度(图3b-c)。
    4. 原子分辨率验证:通过环形暗场STEM(ADF-STEM)成像及快速傅里叶变换(FFT)确认晶带轴对准(图3e-f, 图4d-f)。

3. 自动化实现

基于DigitalMicrograph脚本或Nion公司控制系统,实现全自动倾斜流程(图4a-c),耗时约20秒,电子剂量低至10 e⁻ Å⁻²(对比原子成像需3000 e⁻ Å⁻²)。


主要结果

  1. γ-Al₂O₃纳米棒倾斜验证

    • 初始最暗阴影图像偏移光学中心88.6 mrad(y方向)和-14.6 mrad(x方向),经双倾校正后,ADF-STEM显示[011]晶带轴原子排列(图3e-f)。
    • FFT图案证实长程有序结构(图3e插图)。
  2. ZSM-5沸石低剂量应用

    • 自动倾斜至[010]晶带轴(图4c),ADF-STEM清晰呈现Si/O原子柱投影(图4f),叠加原子模型验证准确性。
  3. 方法精度与适用范围

    • 理论角度分辨率达0.03 mrad(≈0.002°),实际精度<0.5 mrad(图5f)。
    • 最大校正范围±6.9°(与会聚角相关),可扩展至更宽角度。

结论与价值

科学价值
1. 首次提出基于实空间阴影图像对比度的STEM倾斜方法,突破了纳米晶材料衍射信号弱的限制。
2. 实现了低剂量(<0.17 e⁻ Å⁻² s⁻¹)条件下的自动化操作,为电子束敏感材料(如MOFs、沸石)的原子成像提供新范式。

应用价值
- 可推广至半导体、催化剂、电池材料等纳米晶表征(如界面缺陷、表面重构分析)。
- 为人工智能驱动的自动化显微镜(AI-driven automating microscope)开发奠定技术基础。


研究亮点

  1. 方法创新性:无需样品先验知识或衍射图案,直接利用Ronchigram实空间信号。
  2. 技术突破
    • 首次实现>±6.9°大角度校正(传统方法通常°)。
    • 开发配套自动化脚本,提升效率20倍以上。
  3. 跨学科意义:融合电子光学、图像处理与自动化控制,推动原位表征技术发展。

其他有价值内容

  • 作者团队已申请中国专利(申请号202311208642.6),涵盖方法原理与自动化流程。
  • 实验数据可通过通讯作者申请获取,支持后续方法优化与比对研究。

(全文约2000字)

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