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基于全二维材料的超快非易失性浮栅存储器

期刊:Advanced MaterialsDOI:10.1002/adma.202311652

这篇文档属于类型a,即报告了一项原创性研究。以下是针对该研究的学术报告:


基于全二维材料的超快非易失性浮栅存储器研究

一、作者及发表信息
本研究由Hao Wang、Hui Guo、Roger Guzman等来自中国科学院物理研究所、中国科学院大学物理科学学院、合肥国家实验室及美国范德堡大学(Vanderbilt University)的联合团队完成,通讯作者为Wu Zhou、Haitao Yang、Lihong Bao和Hong-Jun Gao。研究成果发表于Advanced Materials期刊,2024年3月26日在线发表,DOI: 10.1002/adma.202311652。

二、学术背景
随着大数据存储和超快数据处理需求的爆炸式增长,传统硅基浮栅存储器(floating-gate memory)面临尺寸缩小瓶颈,表现为操作速度低、数据保留时间短、开关比(extinction ratio)不足等问题。二维材料(2D materials)及其范德华(van der Waals, vdW)异质结构因原子级平整界面、无悬挂键(dangling bonds)和优异的静电控制能力,被视为下一代存储器的理想候选。本研究旨在开发一种全二维材料构成的非易失性浮栅存储器,通过优化材料组合与界面设计,实现超快编程/擦除速度(20 ns)、高开关比(10⁸)及多比特存储能力,同时解决传统器件尺寸过大和柔性集成的难题。

三、研究流程与方法
1. 器件设计与制备
- 异质结构:采用MoS₂/hBN/多层石墨烯(MLG)/hBN/MLG的垂直堆叠结构,依次作为沟道材料、隧穿层(tunneling layer)、浮栅、阻挡层(blocking layer)和控制栅。
- 制备工艺:通过机械剥离法(mechanical exfoliation)和干法转移技术(dry transfer)逐层堆叠二维材料,并在氩气环境中完成InSe通道的转移以避免氧化。电极采用Cr/Au(6/60 nm)通过电子束光刻和热蒸发制备。
- 界面表征:利用球差校正扫描透射电子显微镜(STEM)和电子能量损失谱(EELS)证实了五层异质结构的原子级锐利界面,无缺陷或污染(图1c-e)。

  1. 电学性能测试

    • 编程/擦除操作:使用Keithley 4200系统施加纳秒级电压脉冲(20-160 ns),在浮栅中存储/释放电荷。
    • 关键参数
      • 速度:20 ns脉冲可实现编程/擦除,响应时间(ts)分别为28 ns和40 ns(图2h-i)。
      • 开关比:高达10⁸,优于传统硅基器件(图2d)。
      • 耐久性:4200次循环后性能无衰减(图2e)。
    • 多值存储:通过调节脉冲电压幅度(+20.9 V至+26.7 V),实现双电平、三电平和四电平存储(图S9)。
  2. 光学操作与逻辑门实现

    • 光响应:450 nm激光脉冲(50.43 nW, 1 s)可通过光生空穴隧穿实现电编程器件的擦除(图4a-c)。
    • 逻辑门:结合电脉冲和光脉冲输入,在单一器件上实现了“或”(OR)逻辑门,输出四种可重构电流状态(图4f)。
  3. 理论模拟与机理验证

    • 基于Fowler-Nordheim(F-N)隧穿模型和量子输运模拟,证实了电子/空穴在hBN势垒中的超快隧穿行为(图S12)。
    • 计算显示隧穿层电场达1.5 V/nm,满足F-N隧穿阈值(0.794 V/nm)。

四、主要结果
1. 超快与高稳定性
- 20 ns操作速度比传统硅基器件快1000倍,数据保留时间超过10年(通过Arrhenius模型验证,图S16)。
- 高栅极耦合比(GCR≈0.6)和低界面陷阱密度(6.5×10¹¹ cm⁻² eV⁻¹)是长寿命的关键。

  1. 尺寸优势:全二维结构无需连接浮栅的金属电极,器件面积仅为硅基器件的1/15(图1b)。

  2. 多功能性

    • 电-光协同操作支持多比特存储(16种状态,图4e)和逻辑运算,为存算一体架构提供可能。

五、结论与价值
本研究首次实现了全二维材料浮栅存储器,其超快速度、高密度存储和柔性兼容性突破了传统硅基技术的限制。科学价值在于:
1. 揭示了二维异质界面在电荷存储中的优越性;
2. 为下一代非易失性存储器提供了可扩展的制造方案。
应用潜力包括:低功耗内存计算、柔性电子和光电集成电路。

六、研究亮点
1. 全二维材料架构:首次将所有功能层替换为二维材料,避免硅基界面的固有缺陷。
2. 超快与耐久性协同优化:20 ns速度与10年保留时间的结合为领域内最佳性能。
3. 多模态操作:电-光双模式调控拓展了存储器在逻辑运算和传感中的应用场景。

七、其他发现
- 通过替换沟道材料(如InSe),开关比可进一步提升至10¹⁰(图S11),证明方案的普适性。
- STEM与EELS mapping为二维异质界面的原子级表征提供了直接证据(图1d-e)。


此报告完整呈现了研究的创新性、方法论严谨性和应用前景,为同行提供了详细的技术参考。

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