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谐振式传感器高精度频率测量技术研究

期刊:遥测遥控DOI:10.13435/j.cnki.ttc.003071

该文档属于类型a,即报告了一项原创性研究。以下是针对该研究的学术报告:


谐振式传感器高精度频率测量技术研究学术报告

一、作者及发表信息
本研究由航天长征火箭技术有限公司传感器与系统集成事业部的王健(工程师,硕士)和杨挺(工程师,硕士)合作完成,发表于《遥测遥控》(Journal of Telemetry, Tracking and Command)2020年第41卷第3期,属装备预先研究项目(编号41403060107)成果。

二、学术背景与研究目标
随着MEMS(微机电系统)谐振式传感器(如振梁加速度计、振梁压力传感器)精度提升,传统基于单片机输入捕获的测频技术(精度仅60MHz)已无法满足需求。例如,某些应用要求压力传感器在20ms内达到1ppm(百万分之一)相对频率精度,加速度传感器需在5ms内实现同等精度。为此,本研究提出基于FPGA(现场可编程门阵列)的高精度频率测量方案,旨在解决快速响应与超高精度的矛盾。

三、研究流程与方法
1. 硬件架构设计
- 核心组件:系统由高精度温补晶振(全温区稳定性1ppm)、Altera Cyclone系列FPGA(内置PLL可倍频至400MHz)及信号转换模块组成。
- 信号处理:通过转换芯片将传感器信号转为3.3V方波,以满足FPGA接口电平要求。
- 基准频率优化:利用FPGA的PLL将外部20MHz晶振倍频至340MHz,作为测频基准,平衡精度与时序约束。

  1. 测频算法开发

    • 单边沿检测算法:传统等精度测频法,在采样时间内同步计数被测信号((f_x))和基准信号((f_0))周期数((n_x)、(n_0)),通过公式 (f_x = (n_0 \cdot f_0)/n_x) 计算频率。理论精度 (r = 1/(t_s \cdot f_0)),5ms采样下为3.4e-7。
    • 双边沿检测算法:同时以被测信号的上升沿和下降沿触发基准信号计数,取均值抵消±1时钟周期误差。公式改进为 (fx = (f{x_rising} + f_{x_falling})/2),精度提升至1.6e-7。
    • 改进双边沿算法:进一步引入基准信号的双边沿检测,结合闸门延时(延1个被测周期),最终频率计算为四组检测值的均值(公式4)及延时前后均值(公式5),精度达1.2e-7。
  2. 实验验证

    • 对比方案:以安捷伦频率计53220A(闸门5ms)为基准,对比单边沿、双边沿及闸门延时算法的Allan方差。
    • 数据采集:对某频率输出传感器进行多组测试,采样间隔5ms,分析高频段噪声特性及长期稳定性。

四、研究结果
1. 精度对比
- 频率计:5ms时Allan方差9.3e-8(白噪声主导),1s时4.7e-9,但不稳定性需10s以上才能达到2.3e-9。
- FPGA方案:量化噪声主导,5ms时单边沿、双边沿、闸门延时的Allan方差分别为3.4e-7、1.6e-7、1.2e-7;1s时精度优于频率计(1.9e-9 vs. 4.7e-9)。
- 不稳定性:FPGA方案在0.64s内达3e-9(闸门延时),响应速度显著快于频率计。

  1. 算法优化效果
    • 双边沿检测使5ms精度提升约50%,闸门延时进一步降低25%,验证了相位误差补偿的有效性。

五、结论与价值
1. 科学价值
- 提出FPGA+高倍频晶振的硬件架构,突破单片机60MHz频率限制。
- 创新性算法通过多边沿检测与闸门时序优化,将量化误差降低至亚时钟周期水平。

  1. 应用价值
    • 满足MEMS谐振式传感器对快速(5ms)、高精度(1ppm)测频的需求,支持多路扩展与ASIC(专用集成电路)移植。
    • 体积小、功耗低,适用于航天、精密仪器等领域。

六、研究亮点
1. 方法创新:首次将基准信号双边沿检测与闸门延时结合,实现误差的二次抵消。
2. 性能突破:在5ms内达到1.2e-7相对精度,较传统方案提升近3倍。
3. 工程意义:为ASIC设计提供可复用的算法框架,推动高精度传感器国产化。

七、其他发现
- FPGA方案的量化噪声特性与频率计的白噪声差异,提示在超高频段需结合两种方法以优化系统稳定性。


(报告字数:约1500字)

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