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压接式注入增强栅极晶体管中电接触疲劳与退化评估的研究

期刊:IEEE Journal of Emerging and Selected Topics in Power ElectronicsDOI:10.1109/JESTPE.2021.3101036

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作者及发表信息

本研究由Siyang Dai(学生会员,IEEE)、Zheng Liu(会员,IEEE)、Zhiqiang Wang(会员,IEEE)、Yao ZhaoGuofeng Li(会员,IEEE)合作完成,作者单位均为大连理工大学电气工程学院。论文发表于IEEE Journal of Emerging and Selected Topics in Power Electronics,2022年10月第10卷第5期。


学术背景

研究领域与背景
本研究聚焦于电力电子领域,具体针对压接式注入增强栅极晶体管(Press-Pack Injection Enhanced Gate Transistor, PP-IEGT)的可靠性问题。PP-IEGT是东芝公司基于压接式IGBT(PP-IGBT)开发的高功率半导体器件,具有双面散热、低导通电阻和高电压耐受等优势,广泛应用于高压直流输电(HVDC)和轨道交通等领域。然而,其金属层间的电接触状态(electrical contact status)会因热循环(thermal cycling)和机械应力而退化,最终导致器件失效。

研究动机与目标
现有研究多关注传统焊接封装器件的失效机制,而对压接式模块的长期接触退化缺乏系统性分析。本研究旨在通过有限元模拟(FEM)、微观检测和功率循环测试(Power Cycling Test, PCT),量化PP-IEGT中金属层(铝-钼接触对)的接触疲劳与退化,并探究不同接触状态(如夹紧力不足)对器件性能的影响。


研究流程与方法

1. 有限元模拟(FEM)分析

  • 研究对象:单芯片模块(尺寸见图1b),包含铜集电极、铜发射极、钼(Mo)保护板及表面铝(Al)层。
  • 方法:通过多物理场耦合模型(Workbench模块)模拟加热(30秒)和冷却(30秒)过程中的热机械应力,分析接触间隙(contact gap)、塑性应变及微动磨损(fretting wear)。
  • 关键参数:铝与钼的热膨胀系数(CTE)差异(Al: 23.5 ppm/K, Mo: 4.9 ppm/K)导致横向位移;夹紧力(clamping force)设定为0.5–2 kN。
  • 结果:模拟显示,加热阶段铝层中心接触间隙达38 μm(无夹紧力时),边缘因塑性变形无法完全恢复;微动磨损幅度(δ)超过临界值(10⁻² μm),验证了接触疲劳的严重性。

2. 功率循环测试(PCT)实验

  • 实验设计
    • 测试对象:东芝单芯片PP-IEGT(额定4.5 kV/75 A),通过自制夹具施加可控夹紧力(3.5–6 kN)。
    • 电流选择:基于输出特性曲线拐点(19 A/2.3 V),避免温度系数对结果的干扰。
    • 测试条件:分多组实验(表III),变量包括夹紧力、加热时间(ton=5–30秒)及温度波动(ΔTj=20–70°C)。
  • 监测方法
    • 接触电阻(rme)与导通电阻(rce):通过开尔文四线法实时测量。
    • 结温(Tj):采用低电流注入法(100 mA)校准,结合红外相机辅助验证。

3. 微观结构检测

  • 检测技术:扫描电子显微镜(SEM)和光学显微镜观察铝层表面形貌。
  • 样本处理:在2k、5k、8k、10k次循环后中止实验,检测裂纹、磨损及粗糙度(Sa)。
  • 关键发现
    • 微动磨损:芯片边缘和角落出现显著磨损(图10)。
    • 裂纹与电迁移:SEM显示晶界沟槽和空洞聚集(图11),归因于热循环导致的塑性变形。
    • 粗糙度增长:Sa从2k次循环的1.549 μm增至10k次的10.124 μm(图13),接触电阻同步上升(图14)。

4. 并行芯片对比实验

  • 目的:模拟实际模块中接触不足的芯片(如边缘位置)。
  • 方法:在芯片集电极侧附加铜箔(0.2 mm)人为制造接触间隙,对比正常与不足接触分支的退化差异。
  • 结果:接触不足分支的rme增长更快(图20-21),尤其在低夹紧力(3.5 kN)和长加热时间(ton=30秒)下更为显著。

主要研究结果

  1. 接触退化机制
    • 热机械应力:周期性膨胀与收缩导致铝层塑性变形,引发微动磨损和裂纹。
    • 电阻增长:rme呈线性增长(最高22.3%),rce在失效前突增(图15-16),表明接触退化先于芯片老化。
  2. 失效模式
    • 烧蚀失效:接触分离导致局部放电(图17),角落区域因电场集中更易击穿(图18)。
  3. 夹紧力与热参数影响
    • 夹紧力不足(<3.5 kN)会显著加速退化;长加热时间(ton=30秒)使寿命缩短50%以上。

结论与价值

科学价值
- 首次系统量化了PP-IEGT中铝-钼接触对的退化过程,揭示了热机械应力与电参数漂移的关联性。
- 提出的多方法联合分析框架(FEM+PCT+微观检测)为压接式器件可靠性研究提供了新范式。

应用价值
- 指导优化夹紧力设计(推荐≥5 kN)和热管理策略(控制ΔTj≤50°C),延长器件寿命。
- 为HVDC等高压应用中的故障预测与健康管理(PHM)提供理论依据。


研究亮点

  1. 创新方法:结合数值模拟、原位电阻监测与高分辨率微观检测,全面解析接触退化。
  2. 关键发现:明确了接触电阻线性增长是失效前兆,弥补了传统仅关注导通电阻突变的不足。
  3. 工程指导性:通过并行芯片实验,验证了实际模块中接触不均匀性的危害,为封装工艺改进提供依据。

其他有价值内容

  • 理论公式拓展:文中推导了接触电阻(rcont)与粗糙度的定量关系(公式9-10),为后续建模奠定基础。
  • 跨学科关联:将电气接触理论(如微动磨损临界值)与功率半导体失效分析结合,拓宽了研究视角。

(全文约2400字)

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