这篇文档属于类型a,是一篇关于高性能全局快门CMOS图像传感器的原创性研究论文。以下为详细的学术报告:
作者及机构
该研究由北京空间机电研究所(Beijing Institute of Space Mechanics and Electricity)的Liqiang Han、Ganlin Cheng等团队完成,发表期刊为Sensors(2025年7月18日),标题为《A 1000 fps High-Dynamic-Range Global Shutter CMOS Image Sensor with Full Thermometer Code Current-Steering Ramp》。
学术背景
本研究聚焦于CMOS图像传感器(CIS)领域,重点解决科学、工业和医疗应用中高速成像的需求。传统全局快门(Global Shutter, GS)像素存在动态范围受限、噪声性能不足等问题。研究目标包括:
1. 开发一种电压域全局快门像素架构,以提升满阱容量(Full Well Capacity, FWC)和动态范围;
2. 设计一种12位全温度计码电流导向DAC(Current-Steering DAC, CS-DAC)斜坡发生器,解决长总线负载下的非线性响应问题;
3. 优化读出电路噪声性能,实现95 dB动态范围和1000 fps帧率的高性能成像。
研究方法与流程
1. 全局快门像素设计
- 像素架构:采用10T电压域GS像素(10晶体管结构),支持双增益通道(高增益HCG与低增益LCG),单帧内同步捕获高低增益信号。
- 关键技术:
- 通过4个独立存储电容(2个MOS电容、2个MIM电容)隔离寄生电容(<0.01 fF),减少图像滞后(Image Lag)和非线性(图4-6)。
- 像素布局采用24 μm × 24 μm间距,填充因子70%,通过屏蔽接触降低电容串扰(图6)。
- 噪声分析:推导输入参考热噪声公式(式1-2),10T像素比8T噪声性能更优,尤其在存储电容较大时(图3)。
2. 斜坡发生器设计
- 架构创新:提出12位全温度计码CS-DAC,包含5000个单元电流控制单元(图10),通过移位寄存器实现顺序控制,消除输出毛刺。
- 非线性补偿:分析负载电容(Cf)与时间常数(τ=RCf)对斜坡响应的影响(图14),通过冗余单元(904个)补偿总线延迟(22 ns)。
- 性能模拟:单元电流失配仅0.0214%,模拟非线性误差低于0.04 LSB(图15)。
3. 读出电路优化
- 比较器设计:采用两级静态比较器(图16),集成电流补偿模块,降低功耗与噪声。
- 第一级跨导放大器(M1-M5)结合自归零(Auto-Zero)技术,抑制低频噪声。
- 噪声带宽(NBW)通过斜坡斜率与增益调整优化,理论热噪声在×1增益下为128 μVrms(图18)。
- 时序控制:双采样(DDS)操作补偿延迟,帧率在单增益模式下达1000 fps(图17)。
4. 芯片制造与测试
- 工艺:采用110 nm背照式(BSI)CIS工艺,阵列规格1024×512像素。
- 测试结果:
- 动态范围:双增益模式下95 dB(HGC 37 ke-,LGC 620 ke-);
- 噪声:高增益模式10 e-rms(320 μVrms);
- 线性度:高增益非线性1.09%,低增益0.78%(表1)。
主要结果
- 像素性能:
- 双增益通道实现71 dB线性动态范围,寄生电容影响低于5 mV偏移(式3)。
- 图像滞后<0.08%,满足高速成像需求(图21)。
- 斜坡发生器:
- 模拟验证斜坡响应在Cf=15 pF时误差可忽略(式14),适用于拼接式CIS设计。
- 系统集成:
- 总功耗557 mW(1000 fps模式),子LVDS接口支持16通道500 MHz输出(表2)。
研究价值与意义
- 科学价值:
- 提出寄生电容最小化的像素布局方法,为高精度GS像素设计提供新范式。
- 全温度计码CS-DAC架构首次应用于CIS斜坡发生器,解决长总线驱动难题。
- 应用价值:
- 适用于科学成像、工业检测等需高帧率(1000 fps)与高动态范围(95 dB)的场景(图22)。
研究亮点
- 创新方法:
- 10T双增益像素结合隔离存储电容,突破传统电压域GS像素的噪声限制。
- 电流补偿比较器与分布式斜坡设计,实现低噪声(10 e-rms)与高一致性。
- 性能突破:
- 在24 μm大像素下实现620 ke-满阱容量,优于同类工作(表3)。
其他补充
- 数据可获取性:研究中所有原始数据可通过通讯作者获取。
- 局限性:未探讨极端温度下的噪声性能,未来可扩展至航天等严苛环境应用。