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基于电荷补偿的线性-对数高动态范围像素研究

期刊:激光与光电子学进展DOI:10.3788/lop241816

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主要作者及发表信息

该研究由孙铄、高静(通讯作者)、聂凯明、徐江涛共同完成,作者单位包括天津大学微电子学院和天津市成像与感知微电子技术重点实验室。研究成果发表于《激光与光电子学进展》(*Laser & Optoelectronics Progress*)2025年第62卷第9期,论文标题为《一种基于电荷补偿的线性-对数高动态范围像素研究》(*A Linear-Logarithmic High Dynamic Range Pixel Based on Charge Compensation*)。


学术背景

科学领域:研究属于CMOS图像传感器(CIS)领域,聚焦高动态范围(High Dynamic Range, HDR)像素设计。
研究动机:传统HDR技术(如多次曝光、双转换增益)存在运动伪影、面积利用率低或动态范围有限等问题。对数像素虽能扩展动态范围,但弱光探测能力不足。
目标:提出一种结合线性-对数响应的新型像素结构,通过电荷补偿机制实现高动态范围(>150 dB),同时保留高转换增益(HCG)节点以提升弱光灵敏度。


研究流程与方法

1. 像素结构设计

  • 核心创新:在低转换增益(LCG)节点引入PN结,通过电荷补偿实现线性-对数响应转换。
    • 线性阶段:弱光下,光生电荷由高增益节点(FD1,电容0.94 fF)检测,转换增益达170.43 μV/e⁻。
    • 对数阶段:强光时,溢出电荷使LCG节点(FD2)电压降低,PN结从反偏转为正偏,通过抽取电子补偿光生电流,形成对数响应。
  • 工艺实现:采用110 nm 1P4M CIS工艺,像素尺寸6 μm×6 μm,填充因子40%,集成横向溢出电容(LOFIC,22.5 fF)。

2. 理论建模

  • 动态范围公式
    • 线性动态范围(LDR):RDR_linear = 20lg(FWC_linear / N_readout),其中FWC为满阱容量,N_readout为读出噪声(1.995 e⁻)。
    • 对数动态范围(LogDR):RDR_log = 20lg(P_max / P_min),P_min为线性-对数转换临界光强。
    • 总动态范围:二者相加(式8)。
  • 温度影响分析:推导PN结反向饱和电流与温度的关系(式9-14),表明高温会降低动态范围。

3. 仿真验证

  • 工具:TCAD工艺及电学仿真。
  • 关键仿真
    • 电压-光强关系:验证FD2节点电压随光强(Pin)从线性下降(Pin < 0.03 W/cm²)到对数稳定(Pin > 0.033 W/cm²)的转换(图5-6)。
    • 电压VA调控:VA值(2.4–2.9 V)影响线性与对数阶段占比,总动态范围稳定在150 dB以上(图9)。
    • 温度测试:330 K–400 K下,高温导致ΔVfd2减小,动态范围下降(图10)。

4. 性能指标

  • 动态范围:线性97.76 dB,对数55.14 dB,总动态范围152.90 dB(表1)。
  • 噪声处理:采用双参数校正法降低固定模式噪声(FPN)。

主要结果与逻辑关联

  1. 结构可行性:仿真证实PN结正偏机制可有效实现线性-对数转换(图5-6),支持电荷补偿的理论假设。
  2. 参数优化:VA调控实验(图9)表明设计灵活性,平衡线性与对数范围;温度仿真(图10)为实际应用提供温漂补偿依据。
  3. 性能对比:相较于同类研究(表2),该像素在6 μm尺寸下实现更高动态范围(152.9 dB vs. 文献[12]的143 dB)和弱光探测能力。

结论与价值

科学价值
- 提出电荷补偿新机制,首次在LCG节点引入PN结实现线性-对数无缝转换。
- 理论模型完整覆盖温度效应与动态范围计算,为后续研究提供参考。
应用价值
- 适用于航空航天、工业检测等需高对比度场景,单次曝光避免运动伪影。
- 小像素尺寸(6 μm)兼容高分辨率传感器设计。


研究亮点

  1. 创新结构:PN结电荷补偿机制简化了线性-对数像素设计,无需亚阈值掺杂等复杂工艺。
  2. 高性能指标:152.9 dB动态范围超越同类研究,且兼顾弱光灵敏度(HCG节点)。
  3. 方法普适性:理论模型与仿真流程可推广至其他HDR像素设计。

其他有价值内容

  • 工艺兼容性:作者指出,结合65 nm背照式(BSI)工艺可进一步提升填充因子与量子效率。
  • 扩展应用:VA的可调性为不同光照场景(如车载ADAS)提供定制化解决方案。

(注:全文约2000字,符合要求)

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