这篇文档属于类型a,即报告了一项原创性研究。以下是针对该研究的学术报告:
主要作者及机构
本研究的主要作者包括Yong Liu、Lihua Liang、Scott Irving和Timwah Luk。Yong Liu来自Fairchild Semiconductor Corporation(美国缅因州南波特兰),Lihua Liang来自浙江工业大学(中国杭州)。研究发表在2008年的《Microelectronics Reliability》期刊上。
学术背景
本研究的主要科学领域是微电子可靠性,特别是集成电路(IC)器件和封装中的电迁移(electromigration)问题。随着电子行业对高性能和微型化的需求不断增加,高电流密度导致的电迁移失效问题不仅出现在IC互连中,也出现在封装中的焊点(solder joint)上。早期的电迁移研究主要集中在IC封装中的互连材料(如Al-Cu合金或纯Cu互连线),但Black方程(Black’s equation)在评估铝和铜互连的寿命时存在局限性,尤其是在焊点中,电流密度的不均匀性使得传统的电迁移理论无法准确预测失效。近年来,研究人员发现电迁移现象也发生在焊点与底层金属化(UBM)层之间的界面,导致空洞(void)的形成和焊点开路失效。因此,本研究旨在开发一种三维电迁移有限元模型,结合高电流密度、热载荷和机械载荷,研究IC器件和封装中焊点的可靠性。
研究流程
研究分为多个步骤,详细流程如下:
1. 模型开发:研究开发了三维电迁移有限元模型,用于模拟IC器件/互连和焊点的可靠性。模型考虑了电、热和应力场的直接耦合分析(direct coupled analysis)和间接耦合分析(indirect coupled analysis)。
2. 材料模型:研究中采用了粘塑性Anand本构模型,分别针对SnPb和SnAgCu两种无铅焊料材料。
3. 数值实验:通过数值实验获取高电流密度载荷下的电、热和应力场分布,并结合迁移失效进行分析。
4. 子模型技术:为了降低计算成本并提高精度,研究采用了子模型技术(sub-model technique)。全局模型使用较粗的网格,而子模型则使用精细网格进行局部详细分析。
5. 失效判断:通过原子通量散度(atomic flux divergence)计算,研究分析了电迁移、热迁移和应力迁移的耦合效应,并基于原子浓度变化判断空洞生成和失效时间(TTF, Time to Failure)。
6. 案例研究:研究通过两个案例验证模型的有效性:一个是IC器件中的“sweat structure”,另一个是倒装芯片CSP(Chip Scale Package)封装中的焊点。
主要结果
1. sweat structure案例:研究模拟了高电流密度下的温度分布和电流密度分布,发现失效首先发生在结构的中间部位,与实验结果一致。通过对比模拟和实验的失效时间(TTF),验证了模型的准确性。
2. CSP封装案例:研究模拟了CSP封装中焊点的电迁移行为,发现角部焊点的电流密度比平均电流密度高一个数量级,且SnAgCu焊料比SnPb焊料具有更长的失效时间。通过子模型技术,研究详细分析了焊点与UBM界面处的空洞生成过程,模拟结果与实验观察到的空洞形状一致。
3. 耦合分析:研究发现,直接耦合分析方法由于仅考虑线性材料属性,得到的应力和原子通量散度值高于间接耦合分析方法。间接耦合方法通过考虑材料的非线性特性,提供了更准确的模拟结果。
结论
本研究通过三维电、热和应力场的直接与间接耦合分析,量化了电流拥挤、焦耳热和应力对IC器件和焊点电迁移的影响。研究开发了子模型技术,能够更精确地模拟电迁移、热迁移和应力迁移的耦合效应。通过对比数值模拟结果与实验数据,验证了模型的有效性。研究还发现,无铅焊料SnAgCu比SnPb具有更高的抗电迁移性能。这些结果为IC器件和封装的设计与可靠性评估提供了重要的理论支持。
研究亮点
1. 创新性模型:研究开发了三维电迁移有限元模型,结合了电、热和应力场的多物理场耦合分析。
2. 子模型技术:通过子模型技术,研究在保证计算效率的同时,提高了局部区域的分析精度。
3. 材料对比:研究对比了SnPb和SnAgCu两种焊料的电迁移性能,为无铅焊料的应用提供了科学依据。
4. 实验验证:研究通过多个案例验证了模型的有效性,模拟结果与实验数据高度一致。
其他有价值的内容
研究还指出,未来研究方向包括开发损伤力学模型,研究IMC(Intermetallic Compound)和UBM溶解对材料机械性能退化的影响,以及通过大量实验获取无铅材料的电迁移参数。这些工作将进一步推动微电子可靠性领域的发展。