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功率模块高温电子封装:烧结与瞬态液相键合技术的进展

期刊:j mater sci: mater electronDOI:10.1007/s10854-025-15806-8

高温电子封装技术在功率模块中的应用:烧结与瞬态液相连接技术的最新进展

本文由Kai Cao(哈尔滨理工大学材料科学与化学工程学院)、Jianhao Wang(Heraeus Electronic Technology, Heraeus Materials Technology Shanghai)等学者合作完成,发表于期刊 *Journal of Materials Science: Materials in Electronics*(2025年,第36卷,第1767页)。论文系统综述了功率模块高温电子封装领域的两项关键技术——烧结(sintering)与瞬态液相连接(Transient Liquid Phase Bonding, TLP)的研究进展,重点探讨了材料设计、工艺优化及性能提升路径。


研究背景与主题

随着电动汽车(EV)对功率模块热稳定性和功率密度需求的提升,传统封装技术(如锡基焊料)因导热性不足、高温可靠性差及环境兼容性等问题面临挑战。宽禁带半导体(Wide-Bandgap, WBG)器件的广泛应用进一步加剧了对高温兼容封装材料的需求。本文聚焦银(Ag)、铜(Cu)、镍(Ni)基烧结材料及TLP合金体系,分析其微观结构调控机制、工艺参数影响及工业应用潜力。


核心观点与论据

1. 烧结材料的设计与性能优化

观点:烧结材料的性能取决于颗粒尺寸、形貌及溶剂选择,多模态(multimodal)颗粒设计可显著提升烧结密度与机械强度。
- 颗粒尺寸:纳米颗粒(如Ag纳米颗粒)可实现低温无压烧结(<300°C),但成本高且易团聚;微米颗粒成本低但孔隙率高;亚微米颗粒(submicron)平衡性能与成本。研究表明,双模态(bimodal)或三模态(trimodal)混合颗粒(如1.5 μm/200 nm Ag@Cu)可将孔隙率从38.5%(单模态)降至5.5%,剪切强度提升至45.1 MPa(Wang et al., 2025)。
- 颗粒形貌:球形颗粒(spherical particles)流动性好但接触面积小;片状(flake)和栗刺状(chestnut-burr-like)颗粒通过增大接触面积提升导热性(如片状Ag颗粒烧结后导热率达278.5 W/m·K);树枝状(dendritic)颗粒通过分形结构填充孔隙,剪切强度达35.1 MPa(Kim et al., 2025)。
- 溶剂选择:醇类(如α-松油醇)和酮类(如丙酮)溶剂影响浆料流变性和烧结孔隙率。高沸点溶剂(如聚乙二醇)可延缓挥发,减少残余气孔(表1)。

2. 烧结工艺的革新

观点:压力烧结、激光辅助烧结等先进工艺可降低孔隙率并提升界面结合强度。
- 压力烧结:15 MPa压力下Ag纳米颗粒密度提升至7.74 g/cm³,孔隙率降至24%(Zhang et al., 2025)。
- 激光烧结:蓝光激光(3.6 W)可实现Cu纳米颗粒快速致密化,10 μm厚烧结层体积收缩率>50%(Kishida et al., 2025)。
- 超声辅助烧结:20–60 kHz超声波通过空化效应(cavitation)促进颗粒扩散,60 W功率下剪切强度达峰值(Lu et al., 2025)。

3. 瞬态液相连接(TLP)技术的优势与挑战

观点:TLP通过低温连接-高温服役特性,适用于WBG器件封装。
- Cu-Sn体系:Sn熔化后与Cu形成高熔点金属间化合物(IMCs,如Cu₃Sn,676°C),接头热导率达140.2 W/m·K,剪切强度50 MPa(Greve et al., 2025)。
- Ag-In体系:超声辅助TLP可在秒级完成连接,剪切强度达82.9 MPa(Liu et al., 2025)。
- 局限性:Au-In体系成本高,且AuIn₂相脆性大(强度仅8 MPa)。


研究价值与意义

  1. 科学价值:阐明了多模态颗粒协同烧结机制及TLP界面反应动力学,为高温封装材料设计提供理论依据。
  2. 应用价值:Ag-Cu烧结与Cu-Sn TLP技术已应用于SiC功率模块,热阻降低55%(Wang et al., 2025),助力电动汽车与工业电机的高温可靠性。
  3. 未来方向:开发低成本可持续材料(如Ni基烧结)、优化多工艺集成(如超声-感应加热复合工艺)。

亮点总结

  • 创新材料设计:提出三模态Ag浆料(纳米-亚微米-微米混合),实现180°C低温烧结与35 MPa高强度。
  • 工艺突破:激光与超声辅助烧结将工艺时间从分钟级缩短至秒级。
  • 跨学科融合:结合材料科学(IMCs调控)与工程物理(激光/超声能量耦合),推动封装技术工业化。

(注:全文引用的文献及数据均源自原文档,作者与期刊名称保留原文表述。)

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