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通过构建α-Ga2O3@a-Al2O3核壳纳米棒阵列增强自供电深紫外光电化学光电探测器的性能用于日盲成像

期刊:applied surface scienceDOI:10.1016/j.apsusc.2023.159022

类型a:原创性学术研究报告

一、研究团队与发表信息
本研究由Xuan Wang(第一作者)、Ke DingLijuan Huang等13位作者合作完成,主要来自Chongqing Normal University(重庆师范大学物理与电子工程学院)和University of Science and Technology of China(中国科学技术大学微电子学院)。研究成果发表于期刊Applied Surface Science,2024年第648卷,文章编号159022,2023年12月2日在线发布。


二、学术背景与研究目标
科学领域:本研究属于深紫外(Deep-Ultraviolet, DUV)光电化学(Photoelectrochemical, PEC)探测器领域,聚焦于太阳能盲区(Solar-Blind, 波长<280 nm)成像技术。
研究动机:目前,基于Ga₂O₃的固态探测器在太阳能盲区成像中表现优异,但光电化学型(PEC型)探测器因其自供电特性、高响应度和低成本潜力尚未被充分探索。传统固态探测器需复杂光刻工艺且电极网络会遮挡光敏区域,而PEC型探测器仅需单电极设计,光敏区域不受影响。
研究目标:通过构建α-Ga₂O₃@a-Al₂O₃核壳纳米棒阵列(Core-Shell Nanorod Arrays, NRAs),提升自供电PEC型探测器的性能,并首次实现太阳能盲区成像验证。


三、实验流程与方法
1. 材料合成
- α-Ga₂O₃ NRAs制备:采用水热法在FTO衬底上生长GaOOH纳米棒阵列,前驱体为Ga(NO₃)₃·9H₂O和NaOH溶液(pH=5),180℃反应24小时,随后400℃真空退火4小时转化为α-Ga₂O₃。
- α-Ga₂O₃@a-Al₂O₃核壳结构:通过原子层沉积(Atomic Layer Deposition, ALD)在α-Ga₂O₃表面沉积非晶Al₂O₃(a-Al₂O₃),以三甲基铝(TMA)和H₂O为源,200℃下调控沉积周期(10-100次)控制厚度。

  1. 器件制备与表征

    • 阵列化设计:在5×5矩阵FTO衬底上制备探测器阵列,每个像素有效面积3×3 mm²。
    • 结构表征:X射线衍射(XRD)确认α-Ga₂O₃的(110)晶向择优生长;透射电镜(TEM)显示a-Al₂O₃包覆层厚度约4.3 nm;X射线光电子能谱(XPS)分析能带排列。
  2. 光电性能测试

    • 三电极系统:以Na₂SO₄溶液为电解质,饱和甘汞电极(SCE)为参比电极,铂片为对电极,在254 nm和365 nm紫外光下测试光电流响应(I-t曲线)、响应度(Responsivity)和探测率(Detectivity)。
  3. 成像验证

    • 5×5阵列成像:通过掩膜板投射“C”和“N”字母图案,记录各像素光电流生成2D图像。

四、主要结果与逻辑链条
1. 核壳结构优化:ALD沉积30周期时性能最佳,光电流密度从α-Ga₂O₃的4.60 μA/cm²提升至11.24 μA/cm²(0.5 mW/cm²光照),响应度从9.60 mA/W增至22.70 mA/W。
- 机理:α-Ga₂O₃@a-Al₂O₃异质结形成内置电场(Type-I能带排列,价带偏移0.2 eV,导带偏移2.1 eV),促进光生载流子分离与定向传输。

  1. 光谱选择性:器件在215-275 nm波段响应显著,截止波长279 nm,紫外-可见抑制比达73.74,验证太阳能盲区探测能力。

  2. 成像性能:5×5阵列在254 nm光照下成功捕获字母图案,光电流密度与光照强度呈线性关系,显示高均匀性(暗电流3.5-11.1 nA/cm²)和可重复性。


五、结论与价值
1. 科学价值:首次将PEC型Ga₂O₃探测器应用于太阳能盲区成像,证实核壳异质结设计可有效提升自供电器件性能。
2. 应用价值:为低成本、大面积太阳能盲区成像系统提供新思路,潜在应用包括光学通信、数字显示和传感领域。


六、研究亮点
1. 创新性方法:结合水热法与ALD技术,实现α-Ga₂O₃@a-Al₂O₃核壳结构的可控生长。
2. 性能突破:响应度(22.7 mA/W)和探测率(2.2×10¹¹ Jones)优于多数已报道的α-Ga₂O₃基PEC探测器。
3. 成像验证:首次展示PEC型探测器阵列的太阳能盲区成像能力,填补该领域研究空白。


七、其他亮点
- 稳定性:器件在1600秒连续测试中保持稳定光电流输出。
- 可扩展性:水热法与ALD工艺兼容大规模生产,为产业化奠定基础。

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