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弹性发射加工制造超光滑低损伤表面的研究
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journal of materials processing tech.
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主动控制弹性发射加工的轮廓预测与分析
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弹性发射加工中材料去除的滚动模型分析
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新型圆盘流体动力抛光工艺及工具用于高效超光滑表面抛光
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Journal of Vacuum Science and Technology B: Microelectronics and Nanometer Structures
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弹性发射加工对Si(001)表面的平坦化(第2报):加工表面的原子像观察与结构评价
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弹性发射加工(EEM)对Si(001)表面的平坦化(第1报):半导体表面超平坦化的超洁净EEM系统开发
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高镁含量铝合金连接中的孔隙演化机制、影响因素及超声辅助调控
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