Cr掺杂V2O3薄膜的压阻特性及其在MEMS传感器中的应用研究

关于Cr掺杂V₂O₃薄膜压阻效应的研究及其在MEMS传感器中的应用 学术背景 压阻式微机电系统(MEMS)传感器是一类利用材料的压阻效应将应力变化转化为电阻变化的设备,广泛应用于汽车、航空航天、生物医学和研究领域。目前,大多数压阻式传感器使用掺杂硅作为压阻材料,尽管其易于集成且成本低廉,但其压阻效应有限,纵向压阻系数(Gauge Factor, GF)通常低于120。为了提升传感器性能,研究人员一直在探索新的压阻材料。钒氧化物材料因其独特的压阻特性引起了广泛关注,尤其是Cr掺杂的V₂O₃薄膜,其在室温下通过应变控制表现出显著的电阻变化,显示出作为压阻材料的潜力。 论文来源 本论文由Michiel Gidts、Wei-Fan Hsu、Maria Recaman Payo、Shaswat Kus...

原子级薄MoS2纳米机电谐振器中紧密间隔模式的非线性耦合研究

非线性耦合在原子级薄MoS₂纳米机电谐振器中的研究 学术背景 随着纳米技术的快速发展,纳米机电系统(Nanoelectromechanical Systems, NEMS)在传感器、信号处理和量子计算等领域展现出巨大的应用潜力。特别是二维(2D)材料,如二硫化钼(MoS₂),因其原子级厚度、优异的机械性能和电学特性,成为构建NEMS的理想材料。MoS₂等二维材料在纳米尺度下表现出多模态共振和非线性动力学行为,这些特性为研究新型器件物理提供了独特的平台。 在NEMS谐振器中,非线性模态耦合是一个重要的研究课题。当谐振器被驱动到非线性区域时,不同振动模式之间会发生能量交换,导致共振频率的偏移和其他复杂的动力学现象。理解这些非线性耦合机制对于设计高性能的NEMS器件至关重要。然而,现有的研究大多集...

气泡热声模式与光机械传感器的耦合研究

气泡热声模式与光机械传感器的耦合研究 学术背景 气泡在液体中的声学行为一直是物理学和工程学领域的重要研究课题。气泡的振动模式不仅与自然界中的声学现象密切相关,还在微流体、生物传感等领域具有广泛的应用前景。Minnaert呼吸模式是气泡声学中最著名的振动模式,它描述了气泡在液体中的基本振动行为。然而,气泡还支持一系列高阶声学模式,这些模式的理论预测虽然存在,但实验观测却极为罕见。此外,光机械传感器作为一种高灵敏度的探测工具,能够检测微尺度的声学和振动特性,为研究气泡的声学行为提供了新的平台。 本文的研究旨在通过光机械传感器探测气泡的声学模式,特别是高阶声学模式,并探讨气泡与传感器之间的耦合效应。研究不仅有助于深入理解气泡的声学特性,还为优化微机械振荡器的性能提供了新的思路。 论文来源 本文由K...

基于深度强化学习的液体透镜显微镜自动对焦技术

基于深度强化学习的液体透镜显微镜自动对焦技术研究 学术背景 显微镜成像在科学研究、生物医学研究和工程应用中扮演着至关重要的角色。然而,传统显微镜及其自动对焦技术在实现系统小型化和快速精准对焦方面面临着硬件限制和软件速度缓慢的问题。传统显微镜通常采用多个固定焦距透镜和机械结构来实现放大和对焦功能,导致设备体积庞大、对焦速度慢,难以在狭小空间内快速操作。液体透镜(liquid lens)因其无机械部件、通过电信号调节焦距的特点,具有体积小、响应速度快、制造成本低等优势,成为解决这些问题的潜在方案。 近年来,人工智能和新光学元件的发展为显微镜自动对焦技术带来了新的研究方向。传统的自动对焦方法依赖于图像清晰度评估,通常需要多次图像采集和评估,速度较慢。深度学习技术的引入使得直接从单张图像预测焦平面位...

一种具有低噪声振荡读出电路的14 μHz/√Hz分辨率和32 μHz偏置不稳定性的MEMS石英谐振加速度计

基于低噪声振荡读出电路的高分辨率MEMS石英谐振加速度计研究 学术背景 微机电系统(MEMS)加速度计在惯性导航、地震检测、可穿戴设备和智能机器人等领域有着广泛的应用。特别是在卫星控制和无人水下航行器等应用中,高分辨率和低漂移的加速度测量是至关重要的性能指标。MEMS谐振加速度计通过将输入加速度信号调制到载波频率,并输出敏感元件的谐振频率作为测量值,相较于幅度输出型加速度计(如MEMS电容加速度计)具有更低的噪声水平。此外,谐振加速度计还具有高分辨率、宽量程、大动态范围和良好的环境适应性等优点,逐渐成为高分辨率MEMS加速度计的研究热点。 然而,MEMS谐振加速度计在静态输入条件下(通常为0 g加载)的加速度输出波动主要源于温度场波动或背景噪声等环境因素。虽然温度引入的趋势可以通过多项式拟合...